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Micromachined silicon suspended wireswith submicrometric dimensions
- autori
- P. Bruschi, A. Diligenti, M. Piotto
- anno
- 2001
- tipo prodotto
- Articolo in rivista
- rivista
- MICROELECTRONIC ENGINEERING
- isbn-issn
- 0167-9317
- tipo indicizzazione
- ISI
- lingua
- inglese
- volume/numero rivista
- 57-58
- numero pagine
- 7
- pagina iniziale
- 959
- parole chiave
- SOI ,micromachining ,silicon wire ,nanostructures
- schede autori
- DILIGENTI ALESSANDRO , BRUSCHI PAOLO