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Validation of post-processing integration of porous silicon gas sensor with standard microelectronic process
- autori
- BARILLARO GIUSEPPE , BRUSCHI PAOLO , LAZZERINI GIOVANNI MATTIA , STRAMBINI LUCANOS MARSILIO
- anno
- 2010
- tipo prodotto
- Articolo su rivista scientifica Index Medicus, Science Citation Index
- rivista
- I E E E SENSORS JOURNAL
- numero pagine
- 7
- pagina iniziale
- 893
- volume/numero rivista
- 5427272
- isbn-issn
- 1530-437X
- tipo indicizzazione
- ISI
- lingua
- Inglese
- parole chiave
- Process compatibility ,Porous silicon ,Gas sensors