Prodotti
Atti, Riassunti o Comunicazioni
advantages of an almost triangular cross section for silicon nanostructure fabrication on SOI substrates
- autori
- PENNELLI GIOVANNI , Piotto Massimo , PELLEGRINI BRUNO
- anno
- 2006
- tipo prodotto
- Atto di convegno internazionale con revisori articolo breve / poster
- nome conferenza
- mne2006
- numero pagine
- 2
- localita' conferenza
- Barcellona
- pagina iniziale
- 699
- pagina finale
- 700
- data
- 17/09/2008
- editore
- CNM-CSIC Barcelona
- lingua
- Inglese
- parole chiave
- nanofabrication ,nanostructure